T.Makabe and N.Nakano,Y.Yamaguchi: "Modeling and diagnostics of structure in RF glow discharges in Ar at 13.56 MHz." Phys.Rev.A. 45. (1992)
T.Makabe and N.Nakano,Y.Yamaguchi: "Modeling and diagnostics of structure in RF glow discharges in Ar at 13.56 MHz." Phys.Rev.A. 45. (1992)
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T.Makabe 和 N.Nakano,Y.Yamaguchi：“13.56 MHz 氩气中射频辉光放电结构的建模和诊断。”
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