Mechanical properties of 13C DLC films deposited by PBIID
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复制标题
PBIID沉积的13C DLC薄膜的机械性能
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masahiro Kawaguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takaya Sato;takahi Morinaga;Toshio Kamijo;Hiroyuki Arafune;Yoshinobu Tsujii,;荒船博之，三浦美紀，上條利夫，森永隆志，富田雄希，本間彩夏，佐藤貴哉;川口雅弘;川口雅弘;川口雅弘;Masahiro Kawaguchi;Masahiro Kawaguchi;Masahiro Kawaguchi;Masahiro Kawaguchi
