Y・Akiyama: "Occlusion of microscale trenche and hole by thin film grown via CVD (3 dimensional Monte Carlo simulation)" Proc.4th ASME-KJSME Thermal Engineering Joint Conf.(発表予定). (1995)
Y・Akiyama: "Occlusion of microscale trenche and hole by thin film grown via CVD (3 dimensional Monte Carlo simulation)" Proc.4th ASME-KJSME Thermal Engineering Joint Conf.(発表予定). (1995)
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Y. Akiyama：“通过 CVD 生长的薄膜来遮挡微尺度沟槽和孔（3 维蒙特卡罗模拟）”Proc.4th ASME-KJSME 热工程联合会议（1995 年）。
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