渡辺 征夫: "Experimental investigation of particulate formation in He-SiH_4 modulated RF Discharges" Plasma Sources Sci.Technol.3. 286-290 (1994)
渡辺 征夫: "Experimental investigation of particulate formation in He-SiH_4 modulated RF Discharges" Plasma Sources Sci.Technol.3. 286-290 (1994)
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Yukio Watanabe：“He-SiH_4 调制射频放电中颗粒形成的实验研究”Plasma Sources Sci.Technol.3 (1994)。
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