Hydrogen incorporation into deposits forming from tungsten or stainless steel by sputtering under hydrogen and argon mixed plasma
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通过在氢和氩混合等离子体下溅射将氢掺入由钨或不锈钢形成的沉积物中
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tatsuhiko Uda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazunari Katayama;Yasuhito Ohnishi;Shinichiro Ishikawa;Kyohei Yamaguchi;Satoshi Fukada;Masabumi Nishikawa;Naoko Ashikawa;Tatsuhiko Uda
