森 雄爾: "2成分ターゲットの反応性スパッタリングによる薄膜の組成" 第31回セラミックス基礎科学討論会講演要旨集. 256 (1993)
森 雄爾: "2成分ターゲットの反応性スパッタリングによる薄膜の組成" 第31回セラミックス基礎科学討論会講演要旨集. 256 (1993)
复制标题
Yuji Mori:“通过双组分靶材的反应溅射合成薄膜”第31届陶瓷基础科学研讨会摘要256(1993)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: