直流磁控溅射沉积含He钛膜的研究
直流磁控溅射沉积含He钛膜的研究
复制标题
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
徐世林
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
施立群;金钦华;刘超卓;周筑颖;徐世林
