電流密度分布シミュレーションを用いた走査レーザSQUID顕微鏡によるVLSI診断法
電流密度分布シミュレーションを用いた走査レーザSQUID顕微鏡によるVLSI診断法
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使用扫描激光 SQUID 显微镜进行电流密度分布模拟的 VLSI 诊断方法
DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
三浦克介
中科院分区:
文献类型:
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作者:
御堂義博;山下将嗣;松本徹;二川清;中前幸治;御堂義博;三浦克介