Evidence of Charge Polarity Reversal in Silicon Oxide Film Deposited by Atomic Layer Deposition
Evidence of Charge Polarity Reversal in Silicon Oxide Film Deposited by Atomic Layer Deposition
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原子层沉积沉积的氧化硅薄膜中电荷极性反转的证据
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
斗内 政吉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
望月 敏光;薄 謙志郎;棚橋 克人;高遠 秀尚;伊藤 明;中西 英俊;川山 巌;斗内 政吉
