CharacteristicsofHiPIMSDrivenbySpiker-sustainerPulsesforDLCDeposition
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由Spiker-Sustainer脉冲驱动进行DLC沉积的HiPIMS的特性
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Seiji Mukaigawa and Ken Yukimura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Koichi Takaki;Mutsumi Takahashi;Katsuyuki Takahashi;Seiji Mukaigawa and Ken Yukimura
