Initial Cu Growth in Cu-Seeded and Ru-Lined Narrow Trenches for Supercritical Fluid Cu Chemical Deposition
Initial Cu Growth in Cu-Seeded and Ru-Lined Narrow Trenches for Supercritical Fluid Cu Chemical Deposition
复制标题
用于超临界流体铜化学沉积的铜籽晶和 Ru 衬里窄沟槽中的初始铜生长
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Y.Shimogaki
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
E.Kondoh;M.Matsubara;K.Tamai;Y.Shimogaki
