VARIABLE SPOT SHAPING FOR ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY-猫眼课题宝

DOI：

10.1116/1.569621

发表时间：

1978-01-01

期刊：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY

影响因子：

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通讯作者：

中科院分区：

其他

文献类型：

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作者：

PFEIFFER, HC