In-Situ Scanning Electron Microscope Chemical Vapor Deposition as a Platform for Nanomanufacturing Insights
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原位扫描电子显微镜化学气相沉积作为纳米制造见解的平台
DOI：
10.1115/imece2021-73554
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Maschmann, Matthew R.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Koerner, Gordon;Surya, Ramakrishna;Palaniappan, Kannappan;Calyam, Prasad;Bunyak, Filiz;Maschmann, Matthew R.
