電気化学反応による表面酸化現象を利用した4H-SiC基板に対する触媒表面基準エッチング法の開発
電気化学反応による表面酸化現象を利用した4H-SiC基板に対する触媒表面基準エッチング法の開発
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利用电化学反应引起的表面氧化现象开发4H-SiC衬底的催化表面刻蚀方法
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
礒橋藍
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Omura;S. Nakamura;C. A. Kletzing;D. Summers;and M. Hikishima;礒橋藍
