川崎 仁晴、松田 良信、藤山 寛: "SiH_4プラズマにおける陰極シ-ス内の発光機構" 電気学会研究会資料プラズマ研究会. EPー91ー1. 11-20 (1991)
川崎 仁晴、松田 良信、藤山 寛: "SiH_4プラズマにおける陰極シ-ス内の発光機構" 電気学会研究会資料プラズマ研究会. EPー91ー1. 11-20 (1991)
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Hitoshiharu Kawasaki、Yoshinobu Matsuda、Hiroshi Fujiyama：“SiH_4 等离子体中阴极鞘内的光发射机制”IEEJ 研究组材料等离子体研究组 (1991)。
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