VLS成長でのシリコンウィスカー結晶化温度の推算と大直径化

VLS成長でのシリコンウィスカー結晶化温度の推算と大直径化
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VLS 生长过程中硅晶须结晶温度和直径增加的估算

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
稲澤晋
稲澤晋
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
白根尚紀;稲澤晋

文献摘要

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