Li Li, Takashi Abe, Xinghua Li, Masayoshi Esashi: "Smooth Surface Glass Etching by Deep RIE with Sf_6/XeGas"ROCEEDINGS OF THE 19TH SENSOR SYMPOSIUM. 19. 249-252 (2002)
Li Li, Takashi Abe, Xinghua Li, Masayoshi Esashi: "Smooth Surface Glass Etching by Deep RIE with Sf_6/XeGas"ROCEEDINGS OF THE 19TH SENSOR SYMPOSIUM. 19. 249-252 (2002)
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Li Li、Takashi Abe、Xinghua Li、Masayoshi Esashi：“使用 Sf_6/XeGas 进行深 RIE 的平滑表面玻璃蚀刻”第 19 届传感器研讨会的会议记录。
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