静電スプレー法による有機半導体のエッチングプロセスの検討
静電スプレー法による有機半導体のエッチングプロセスの検討
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静电喷涂法有机半导体刻蚀工艺研究
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
蛭田 紗佳，小林 雅季，溝口 嶺，柏崎 正篤，小野島 紀夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Norio Onojima;Yuki Mori;Takumi Ozawa;Takuya Sugai;Naoki Akiyama;and Shunsuke Obata;蛭田 紗佳，小林 雅季，溝口 嶺，柏崎 正篤，小野島 紀夫
