触覚ディスプレイ用のNi薄膜バイアスばねおよびSU-8マイクロ機構の一括形成と剛性評価

触覚ディスプレイ用のNi薄膜バイアスばねおよびSU-8マイクロ機構の一括形成と剛性評価
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用于触觉显示的Ni薄膜偏置弹簧和SU-8微机构的批量成型和刚性评估

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
峯田貴
峯田貴
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
辻一樹;徐嘉楽;阿部喜;清水智巨;長谷川博康;峯田貴

文献摘要

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