横方向液相エピタキシャル成長法によりY2O3層上に形成した局所GOI層の電気特性評価
横方向液相エピタキシャル成長法によりY2O3層上に形成した局所GOI層の電気特性評価
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Y2O3层上横向液相外延生长局部GOI层的电学性能评价
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
梶村 恵子，松江 将博，細井 卓治，志村 考功，渡部 平司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
桝谷聡士;村上竜一;角谷均;嘉数 誠;梶村 恵子，松江 将博，細井 卓治，志村 考功，渡部 平司
