タングステン加熱触媒体で活性化したH2/O2混合ガスを用いたPAC量の異なるノボラックレジストの除去
タングステン加熱触媒体で活性化したH2/O2混合ガスを用いたPAC量の異なるノボラックレジストの除去
复制标题
使用钨加热催化剂活化的 H2/O2 混合气体去除含有不同量 PAC 的酚醛清漆光刻胶
DOI：
--
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
秋田航希，十川翔太，十亀龍星，山本雅史，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
山本雅史;秋田航希，馬庭知宏，浅川万知，長岡史郎，堀邊英夫;山本雅史，秋田航希，十川翔太，十亀龍星，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫;秋田航希，十川翔太，十亀龍星，山本雅史，長岡史郎，梅本宏信，堀邊英夫
