回折光干渉型3軸サーフェスエンコーダに関する研究-短ピッチXY格子に対応したセンサヘッドの開発-
回折光干渉型3軸サーフェスエンコーダに関する研究-短ピッチXY格子に対応したセンサヘッドの開発-
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衍射光干涉型3轴面编码器的研究 - 与短节距XY光栅兼容的传感头的开发 -
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
曽理江
中科院分区：
文献类型：
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作者：
木村彰秀;荒井義和;高偉;曽理江
