Modulation of Film Characteristics of Fluoropolymer Thin Films by Controlling Ion Energy of Ion-Assisted Deposition
Modulation of Film Characteristics of Fluoropolymer Thin Films by Controlling Ion Energy of Ion-Assisted Deposition
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通过控制离子辅助沉积的离子能量调节含氟聚合物薄膜的薄膜特性
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and H. Usui
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Senda;T. Matsuda;K. Tanaka;and H. Usui
