Size and Density Control of Crystalline Ge Islands on Glass Substrates by Oxygen Etching

Size and Density Control of Crystalline Ge Islands on Glass Substrates by Oxygen Etching
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通过氧蚀刻控制玻璃基板上结晶锗岛的尺寸和密度

DOI:
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发表时间:
2004
期刊:
Jpn.J.Appl.Phys. 43 [12A]
影响因子:
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通讯作者:
Y.Mori
Y.Mori
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
K.Yasutake;H.Ohmi;H.Kakiuchi;H.Watanabe;K.Yoshii;Y.Mori

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