Development of nanoprobe TOF-RBS system for semiconductor process
Development of nanoprobe TOF-RBS system for semiconductor process
复制标题
用于半导体工艺的纳米探针TOF-RBS系统的开发
DOI：
10.1016/s0168-583x(03)01049-8
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Takai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hirosuke Takayama;K. Iwasaki;K. Hayashi;M. Takai
