S.Yamamura, S.Yamauchi, S.Watanabe, M.Tabe, T.Kasai, Y.Nonogaki, T.Urisu: "Infrared Reflection Absorption Spectroscopy Using CoSi_2 Buried Metal Layer Substrates Made by Wafer-Bonding"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 3942-3945 (2003)
S.Yamamura, S.Yamauchi, S.Watanabe, M.Tabe, T.Kasai, Y.Nonogaki, T.Urisu: "Infrared Reflection Absorption Spectroscopy Using CoSi_2 Buried Metal Layer Substrates Made by Wafer-Bonding"Jpn.J.Appl.Phys.. 42. 3942-3945 (2003)
复制标题
S.Yamamura、S.Yamauchi、S.Watanabe、M.Tabe、T.Kasai、Y.Nonogaki、T.Urisu:“利用晶圆键合制造的 CoSi_2 埋入金属层基板的红外反射吸收光谱”Jpn.J.Appl
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: