CONFOCAL LASER DISPLACEMENT SENSOR USING MEMS VARIFOCAL MIRROR
CONFOCAL LASER DISPLACEMENT SENSOR USING MEMS VARIFOCAL MIRROR
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使用 MEMS 变焦镜的共焦激光位移传感器
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and K. Hane
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Nakazawa;T. Sasaki;H. Furuta;J. Kamiya;H. Sasaki;T. Kamiya;and K. Hane
