Preparation of tantalum oxide thin films by photo-assisted atomic layer deposition
Preparation of tantalum oxide thin films by photo-assisted atomic layer deposition
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光辅助原子层沉积制备氧化钽薄膜
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
B. Choi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Jae;Young;B. Choi
