Local Area Transfer and Simultaneous Crystallization Technique for Amorphous Si Films with Midair Structure by Near-Infrared Semiconductor Diode Laser Irradiation
Local Area Transfer and Simultaneous Crystallization Technique for Amorphous Si Films with Midair Structure by Near-Infrared Semiconductor Diode Laser Irradiation
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近红外半导体二极管激光辐照非晶硅薄膜局部转移及同步结晶技术
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kohei Sakaike
中科院分区：
文献类型：
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作者：
竹川宜宏;西山雅祥;金関剛史;郷原瑞樹;金井保;跡見晴幸;小嶋誠司;本間道夫;Kohei Sakaike
