結像型X線ナノCTによる電子デバイスの信頼性解析:MLCCの電極構造形成プロセス
結像型X線ナノCTによる電子デバイスの信頼性解析:MLCCの電極構造形成プロセス
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利用成像X射线nanoCT进行电子器件可靠性分析：MLCC电极结构形成过程
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
水野 高太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大熊 学;齋藤 直哉;若井 史博;水野 高太郎
