大气压射频等离子体化学气相沉积TiO2体系的发射光谱诊断
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DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
朱爱民
中科院分区：
文献类型：
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作者：
常大磊;李小松;赵天亮;朱爱民
