RFラジカル源を用いたMBE-GaN選択成長に関する基礎的検討
RFラジカル源を用いたMBE-GaN選択成長に関する基礎的検討
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利用射频自由基源选择性生长MBE-GaN的基础研究
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
成塚重弥
中科院分区：
文献类型：
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作者：
長江祐基;丸山隆浩;成塚重弥
