Production of thin films by control of electron temperature in CH4/H2/Ar plasma
Production of thin films by control of electron temperature in CH4/H2/Ar plasma
复制标题
通过控制 CH4/H2/Ar 等离子体中的电子温度生产薄膜
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Ikada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Reijiro;Ikada
