H_2O_2溶液をバブリングしたオゾンガスとシリコーンオイルを用いて堆積した酸化Si薄膜の膜質特性
H_2O_2溶液をバブリングしたオゾンガスとシリコーンオイルを用いて堆積した酸化Si薄膜の膜質特性
复制标题
臭氧气体和H_2O_2溶液鼓泡硅油沉积的氧化硅薄膜的薄膜特性
DOI：
--
复制
发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
辻埜太一,谷口勇太,堀田將
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hideyuki Imai;Isaku Kanno;Ryuji Yokokawa;Kiyotaka Wasa;Hidetoshi Kotera;辻埜太一,谷口勇太,堀田將
