伊藤 尚己: "RFバイアス印加マイクロ波プラズマCVDによるSiN薄膜の作成" 電子情報通信学会論文誌CーII. J74ーCーII. 21-25 (1991)
伊藤 尚己: "RFバイアス印加マイクロ波プラズマCVDによるSiN薄膜の作成" 電子情報通信学会論文誌CーII. J74ーCーII. 21-25 (1991)
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Naoki Ito：“通过射频偏压应用微波等离子体 CVD 制备 SiN 薄膜”IEICE Transactions C-II 21-25 (1991)。
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