A.Izumi, A.Kikkawa, H.Matsumura: "Low temperature formation of silicon nitride : combination of catalytic-nitridation and catalytic-CVD"Proceedings of Materials Research Society. Vol.715. A10.3.1-A10.3.6 (2002)
A.Izumi, A.Kikkawa, H.Matsumura: "Low temperature formation of silicon nitride : combination of catalytic-nitridation and catalytic-CVD"Proceedings of Materials Research Society. Vol.715. A10.3.1-A10.3.6 (2002)
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A.Izumi、A.Kikkawa、H.Matsumura：“氮化硅的低温形成：催化氮化和催化 CVD 的组合”材料研究学会会刊。
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