三次元LSIとヘテロインテグレーション
三次元LSIとヘテロインテグレーション
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3D LSI 和异质集成
DOI：
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发表时间：
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期刊：
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通讯作者：
李康旭,福島誉史,田中徹,小柳光正
中科院分区：
文献类型：
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作者：
菊池雅;久保田寛和;何祖源;保立和夫;李康旭,福島誉史,田中徹,小柳光正
