光エッチングによる均一層厚を有する極薄SOIの形成
光エッチングによる均一層厚を有する極薄SOIの形成
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光刻法形成层厚均匀的超薄SOI
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
森田 瑞穂
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宮田 優希;中向 保徳;Cassia Tiemi Azevedo;押鐘 寧;川合 健太郎;有馬 健太;森田 瑞穂
