多結晶SiGe 薄膜を用いた平面型熱電素子の作製と評価
多結晶SiGe 薄膜を用いた平面型熱電素子の作製と評価
复制标题
多晶硅锗薄膜平面热电元件的制作与评估
DOI：
--
复制
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
野村 政宏
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
小池 壮太;柳澤 亮人;黒澤 昌志;R. Jha;辻井 直人;森 孝雄;野村 政宏
