Optical & RF-MEMS Lab / IIS-UTokyo
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光学的
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
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作者：
独立式金薄膜的膨胀测试
DOI：
10.1557/proc-795-u10.3
发表时间：
2003
期刊：
MRS Proceedings
影响因子：
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作者：
Yawen Li;M. Cima
通讯作者：
M. Cima
DOI：
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发表时间：
2001
期刊：
影响因子：
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作者：
S. Gudlavalleti;Sharvan Kumar;L. Anand
通讯作者：
L. Anand