Rapid Growth of Diamond-like Carbon Films by Nanopulse Magnetron Chemical Vapor Deposition
Rapid Growth of Diamond-like Carbon Films by Nanopulse Magnetron Chemical Vapor Deposition
复制标题
纳脉冲磁控管化学气相沉积快速生长类金刚石碳膜
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Naoto OHTAKE
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masanori SAITO;Takao SAITO;Yoshimasa KONDO;Hiroya MURAKAMI;Naoto OHTAKE
