電子制御を可能にしたミストCVD 成膜装置の設計
電子制御を可能にしたミストCVD 成膜装置の設計
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可实现电子控制的雾气CVD沉积设备的设计
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木勇人，關成之，末永貴俊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
後藤晃哉;高橋辰宏;鈴木勇人，關成之，末永貴俊
