T. Takahashi et. al.: ""Control of SiH_4/O_2 Chemical Vapor Depeshion Using the Gas-Phase additive C_2H_4" Applizd Physics Letters. 66. 2858-2860 (1995)
T. Takahashi et. al.: ""Control of SiH_4/O_2 Chemical Vapor Depeshion Using the Gas-Phase additive C_2H_4" Applizd Physics Letters. 66. 2858-2860 (1995)
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T.高桥等。
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