Evaluation on two-port configuration of a Lame-mode octagonal microelectromechanical systems resonator driven by sliding driving electrodes
Evaluation on two-port configuration of a Lame-mode octagonal microelectromechanical systems resonator driven by sliding driving electrodes
复制标题
滑动驱动电极驱动的拉梅模式八边形微机电系统谐振器的二端口配置评估
DOI：
10.7567/jjap.54.06fp05
复制
发表时间：
2015
影响因子：
1.5
通讯作者：
and K. Suzuki
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
K. Tsujishita;H. Tanigawa;T. Furutsuka;and K. Suzuki
