Research on anisotropy in electrical discharge machining of monocrystalline Silicon
Research on anisotropy in electrical discharge machining of monocrystalline Silicon
复制标题
单晶硅放电加工各向异性研究
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Kunieda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Hashimoto;T. Kawakami;M. Kunieda
