位相計測ディフレクトメトリと干渉計測による高信頼性精密形状計測の試み
位相計測ディフレクトメトリと干渉計測による高信頼性精密形状計測の試み
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尝试使用相位测量偏转测量法和干涉测量法进行高度可靠的精密形状测量
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
花山 良平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ryohei Hanayama;岩村幸治，真弓宗久，谷水義隆，杉村延広;花山 良平
