中山喜万,渡辺賢一,脇田和樹,河村孝夫: "低周波重畳高周波電力によるSiH/H発光強度比の制御" 1990年春季第37回応用物理学関係連合講演会予稿集.
中山喜万,渡辺賢一,脇田和樹,河村孝夫: "低周波重畳高周波電力によるSiH/H発光強度比の制御" 1990年春季第37回応用物理学関係連合講演会予稿集.
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Yoshiman Nakayama、Kenichi Watanabe、Kazuki Wakita、Takao Kawamura:“通过低频叠加高频功率控制 SiH/H 发射强度比”1990 年第 37 届春季应用物理会议论文集。
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