中山喜万,渡辺賢一,脇田和樹,河村孝夫: "低周波重畳高周波電力によるSiH/H発光強度比の制御" 1990年春季第37回応用物理学関係連合講演会予稿集.

中山喜万,渡辺賢一,脇田和樹,河村孝夫: "低周波重畳高周波電力によるSiH/H発光強度比の制御" 1990年春季第37回応用物理学関係連合講演会予稿集.
复制标题

Yoshiman Nakayama、Kenichi Watanabe、Kazuki Wakita、Takao Kawamura:“通过低频叠加高频功率控制 SiH/H 发射强度比”1990 年第 37 届春季应用物理会议论文集。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献