Metal mask fabrication with an inkjet printer fro AWG phase trimming using a photosensitive refractive index change
Metal mask fabrication with an inkjet printer fro AWG phase trimming using a photosensitive refractive index change
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使用喷墨打印机制造金属掩模,利用光敏折射率变化进行 AWG 相位修整
DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
佐藤伸一
中科院分区:
文献类型:
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作者:
高田和正;高田義崇;横田暁;佐藤伸一