四端子測定TEGを用いたSiナノワイヤトランジスタのチャネル内電位測定

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使用四端测量 TEG 测量硅纳米线晶体管的沟道电位

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
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通讯作者:
他
他
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
佐藤創志;上村英之;角嶋邦之;大毛利健治;山田啓作;岩井洋;他

文献摘要

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