熱フィラメントCVD法によるパワーデバイス用ダイヤモンド結晶成長
熱フィラメントCVD法によるパワーデバイス用ダイヤモンド結晶成長
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使用热丝 CVD 方法生长功率器件的金刚石晶体
DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
大曲新矢
中科院分区:
文献类型:
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作者:
大曲新矢;山田英明;坪内信輝;田中真悟;茶谷原昭義;梅沢仁;杢野由明;S. Ohmagari;大曲新矢;大曲新矢